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사업
Business

사업성과 주요 사업 소개

장비구축 장비활용사업

✚ 디스플레이 부품·소재 및 시제품 특성 평가를 위한 88종 장비 구축 본 센터는 디스플레이 부품·소재에 대한 종합적 분석/평가 및 Test 소자 제조를 위한 공정 시스템을 구축하여 운영하고 있다.
센터의 특화사업을 위하여 각 분야별 장비를 구축/활용하고 있으며 지속적으로 기술동향을 주시하며 장비도입을 진행하고
종수기준(부대장비 포함) 가격기준(50억원) 있다. 센터에서는 디스플레이 관련 기업체의 수요를 적극 반영하여 보다 기업 친화적인 장비구축을 추진하고 있다.

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ౠࢿಣо ౠࢿಣо ✚ 장비구축방향
ࠗಿࣗ੤ - 부품 소재 분석/평가를 위한 Test 소자 제조장비 - 최첨단 분석/평가장비 - 차세대 디스플레이 관련장비
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ҕ੿੢࠺ ҕ੿੢࠺ ✚ 패널 제조공정 구축장비

No 장 비 명 용 도 제조사 설치장소
1 고온합착기 Cell의 상,하판 합착 후 Sealant의 열 경화 및 UV 경화 (주)신도기연 FPD Fab.
2 그래픽 스핀코터 스핀방식으로 배향막 도포 동아무역 FPD Fab.
3 기판세정기 기판상의 불순물 제거 (주)신도기연 FPD Fab.
러빙머신
(주)신도기연
배향막 표면을 일정하게 문질러 액정의 배향 유도
장비활용 실적 4 5 마스크 얼라이너 Photolithography 공정에서 정밀 Align 후 노광 (주)마이다스시스템 FPD Fab.
FPD Fab.
6 멀티코터 균일한 두께의 박막도포 및 전면 코팅장비 (주)펨스 FPD Fab.
7 미세패턴용 어셈블러 100마이크로 이하의 정밀한 합착 공정에서 사용 마이다스시스템(주) FPD Fab.
구분 사용횟수(건) 사용시간(시간) 활용기업(개)
8 스크러버 오염물질 및 유해물질을 흡수 또는 분리하여 배출시키는 장비 (주)도향이엔지 준비실
1차 년도 136 429 8 9 스페이서 산포기 Spacer를 고르게 산포하여 균일한 Cell gap 유지 (주)신도기연 FPD Fab.
10 스핀디벨로퍼 Photolithography 공정에서 Pattern 현상 (주)신도기연 FPD Fab.
2차 년도 491 1502 27
11 습식공정 클린룸 Wet 공정 시 항온항습 환경을 유지하는 청정작업 공간 (주)도향이엔지 FPD Fab.
3차 년도 1,097 8,370 44 12 습식식각장비 Photolithography 공정에서 Pattern 식각 (주)신도기연 FPD Fab.
13 실런트 디스펜서 Sealant의 균일한 도포 Iwashita FPD Fab.
4차 년도 1,344 6,606 54
14 액정주입기 Cell 액정 충진 장치 (주)신도기연 FPD Fab.
5차 년도 1,798 6,651 64 15 어셈블러용 UV 노광기 미세패턴용 어셈블러에서 UV로 노광하여 경화하는 장비 마이다스시스템(주) FPD Fab.
6차 년도 1,847 8,517 87 16 엔드실머신 Cell의 주입구 봉지 (주)신도기연 FPD Fab.
17 자동기판절단기 디스플레이 기판 및 소자 절단 (주)신도기연 준비실
7차 년도 1,928 10,273 106 18 적외선 건조기 원 적외선(Infrated)을 이용한 건조 및 소성공정용 장비 (주)케이피씨 FPD Fab.
8차 년도 2,310 11,981 106 19 정밀합착기 Cell의 상,하판을 정밀하게 가합착 (주)신도기연 FPD Fab.
20 칼슘증착기 유기물 및 금속 증착 대기하이텍 소재화학실험실
9차 년도 1,681 5,282 87
21 클린룸 Cell 제조시 실험실 내의 항온항습 유지 에어랩 FPD Fab.
10차 년도 1,825 7,109 80 22 투명전극 증착기 투명전극 등의 박막 형성 (주)선익시스템 FPD Fab.
23 패턴인쇄기 다양한 유기물의 대면적 박막도포 Nakan FPD Fab.
성과활용(1차) 1,599 5,602 112
24 플렉시블 OLED용 진공증착기 Flexible OLED 소자 제작을 위한 다양한 유기물 및 무기물의 증착 (주)셀코스 박막공정실
성과활용(2차) 1,360 7,044 89 25 플라즈마 클리너 Plasma 방전을 이용하여 기판의 유기 이물질 제거 및 표면 전 처리 Plasmatic systems 소재화학실험실

성과활용(3차) 1,655 6,441 97 26 플라즈마 화학기상 증착기 TFT 소자 및 Flexible 용 기판의 Barrier 증착 (주)아이피에스 박막공정실
27 핫플레이트 Proximity 방식의 건조 및 소성장비 (주)케이피씨 박막공정실
누 계 19,071 85,807 961 28 현상기 기판위에 노광된 Photoresist를 Dipping 방식으로 현상하는 장비 두리텍 FPD Fab.

08 _ NEWS LETTER 2017년 제16호 _ 09