기판세정기
기판상의 불순물 제거
마스크 얼라이너
Photolithography 공정에서 정밀 align 후 노광
스핀디벨로퍼
Photo 공정에서 pattern 현상
습식식각장비
Photo 공정 후 식각
자동기판절단기
디스플레이 기판 및 소자 절단
그래픽 스핀코터
박막제조