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26 Mask Aligner Photolithography 공정에서 정밀 Align 후 노광 (주)마이다스시스템 FPD Fab.
Wetstation
27 Wet 공정 시 항온항습 환경을 유지하는 청정작업 공간 (주)도향이엔지 FPD Fab.
Cleanroom
디스플레이
28 UV Exposure system 광배향 및 감광액 도포 후의 UV 조사 (주)나노텍
특성평가실
29 Proximity Hot Plate Proximity 방식의 건조 및 소성장비 (주)케이피씨 박막공정실
TCP/COG Bonding
30 LCD 패널의 본딩면에 패턴을 가압착 및 본압착하는 장비 (주)유진디스컴 박막공정실
Machine
31 Slit Die Coater 균일한 두께의 박막도포 및 전도성 잉크의 전면 코팅장비 (주)웰텍이엔지 박막공정실
Vacuum Evaporator
32 Flexible OLED 소자 제작을 위한 다양한 유기물 및 무기물의 증착 (주)셀코스 박막공정실
for Flexible OLED
33 Thomson Press 플라스틱 기판 및 Film 절단 (주)신도기연 소재물성평가실
Plasmatic
34 Plasma Cleaner Plasma 방전을 이용하여 기판의 유기 이물질 제거 및 표면 전 처리 소재화학실험실
systems
35 Substrate Scriber 디스플레이 기판 및 소자 절단 (주)신도기연 준비실
36 Scrubber 오염물질 및 유해물질을 흡수 또는 분리하여 배출시키는 장비 (주)도향이엔지 준비실
■ 분석 / 평가 구축장비
No. 장 비 명 용 도 제조사 설치장소
1 Pattern Measuring Microscope 표면의 미세형상 관찰 Olympus FPD Fab.
2 UV Power meter UV lamp의 조도 측정 San-Ei FPD Fab.
코팅된 박막두께, 표면 거칠기 등의
3 Surface Profiler Veeco FPD Fab.
표면특성 분석
4 Video Microscope System 표면의 미세 형상을 관찰 썸텍비젼 FPD Fab.
5 OLED IVL System 소자의 전기적 특성, 발광 특성 평가 (주)제이비에스 디스플레이 특성평가실
Optical Property Measurement 광학필름 및 광소재 시료에 대한
6 (주)제이앤씨테크 디스플레이 특성평가실
System 다양한 광특성 측정
7 UV Spectro photometer 재료의 흡수 및 투과 스펙트럼 분석 Agilent 디스플레이 특성평가실
LCD Viewing Angle Measurement
8 패널의 시야각 및 방위각 측정 Eldim 디스플레이 특성평가실
System
9 Mura test System 패널의 휘도 균일도 및 광특성 분석 Eldim 디스플레이 특성평가실
실험용 전압 증폭기로서
10 Voltage Amplifier FLC Electronics 디스플레이 특성평가실
고전압 Test Cell 구동에 사용
11 Prism Coupler 박막의 굴절률 및 복굴절률 측정 Metricon 디스플레이 특성평가실
12 High Resistivity Meter 재료의 표면저항, 체적저항 측정 Mitsubishi 디스플레이 특성평가실
13 Low Resistivity Meter 재료의 표면저항, 체적저항, 전도도 측정 Mitsubishi 디스플레이 특성평가실
14 Hazemeter 재료의 확산특성 분석 Nippon Denshoku 디스플레이 특성평가실
15 Polarizer Microscope 액정 특성 및 배향, 복굴절 물질 특성을 분석 Olympus 디스플레이 특성평가실
16 Multichannel Spectro photometer 색도 및 휘도 등의 광특성을 측정 Otsuka 디스플레이 특성평가실
17 Optical Birefringence Analyzer 필름의 위상지연 값, 편광도, 타원율 측정 Otsuka 디스플레이 특성평가실
18 Particle Analyzer 입자의 크기 및 제타전위 측정 Otsuka 디스플레이 특성평가실
19 Display 1D Modeling System 시뮬레이션을 통한 부품소재의 설계 Shintech 디스플레이 특성평가실
20 VHR Measurement System 액정 Cell의 VHR, RDC, 이온밀도 측정 Toyo 디스플레이 특성평가실
필름형태의 변형에 따른 특성변화 및
21 Film Bending Tester 기배무역 디스플레이 특성평가실
내구성을 측정하는 장치
22 Impedance Analyser 액정 Cell의 RDC, 액정의 비저항, 유전율 측정 세심광전자기술(주) 디스플레이 특성평가실
Electro-Optic Characteristics
23 액정 Cell의 V-Tcurve, 응답속도 측정 세심광전자기술(주) 디스플레이 특성평가실
Measurement System
2015년 제14호 _ 13